очередное эммигрантское г.) (solar_front) wrote in engineering_ru,
очередное эммигрантское г.)
solar_front
engineering_ru

Новости в области "макроэлектроники."

Оригинал взят у solar_front в Готовы ли Вы клеить телевизор как обои на всю стену?
Это касается нас всех: грядет новая волна в области дисплеев.
Материалы и технологии использовавшиеся в последнее десятилетие для сотовых, мониторов и телевизоров исчерпали себя: они не позволяют делать дисплеи больше и четче. Поэтому эта новость важна.

AMAT (Applied Materials) это чрезвычайно большой и потому важный игрок на рынке оборудования для производства ваших падов и моников.
Applied Materials начал предлагать три новых установки предназначенных для получения тонкопленочных транзисторов (TFT) на основе металлических окислов. Одна установка PECVD (Plasma-enhanced chemical vapor deposition ) и две PVD (Physical vapor deposition ), имеют новый дизайн и техпроцесс, которые позволяют лучшую однородность пленок с меньшим количеством дефектов и разработаны для производства IGZO транзисторов. Производство дисплеев в настоящий момент переключается TFT основанные на металлических оксидах, и IGZO (индийцинковая окись галлия). Переход осуществляется потому, что требуется большее разрешение дисплеев чем 300 dpi. Производители дисплеев постеперрно переходят от  TFT переключателей на основе аморфного кремния к транзисторам на  металлических окислах или к поликремнию полученному при низкой температуре (LTPS), которые предлагают более высокую подвижность носителей заряда. Они также потребляют меньше энергии, что важно в мобильных устройствах. Кроме того они меньше размером и блокируют меньше света в пикселе.


(Поперечное сечение TFT. От TFT на аморфном кремнии (a-Si:H) к новым материалам: IGZO  и LTPS. GI = gate insulator)


LG уже начала поставки 55 дюймого OLED телевизора с TFT на оксидах металла и в 2014 основные игроки тоже начнут переход к оксидам материалам.

Слои в транзисторе IGZO (см рисунок - структура справа-вверху) получена с помощью PVD и РЕCVD. Рисунок 2 показывает поперечное сечение устройства. При помощи PVD "пылится" затвор транзистора (Gate) на стеклянной подложке. Изолятор поверх затвора осажден в  PECVD.  IGZO и ESTL - PVD.  Сток и исток, а также пассивация в конце - снова  РЕCVD.

Итак, как выглядит "новая":) машина от AMAT - Applied AKT 55KS PECVD:

(т.к. я "целовал" эту коробку два года, то добавлю: Справа - это Load-lock причем двойной (верх и низ - разные камеры) для огромных стеклянных подложек 2.2 м на 2.5 м. Светлые блоки сверху - это камеры осаждения, под камерами - управление и нагрев/охлаждение электрода. Между камерами находится вакуумная камера с роботом для транспортировки стеклянных "подложек" в 6 кв. м.)

Чтобы дать Вам представление об этой "микроэлектронике" приведу картинку другой модификации от AMAT (хотя на самом деле это корейские камеры :)):


Устройство камеры осаждения:

То, что на рисунке скромно обозначено как дефлектор - на самом деле огромная плата с отверстиями для газа участвующего в процессе осаждения. Эта алюминиваямая плата настолько сложна, что в ней нет одинаковых отверстий  (диаметр входного отверстия 0.8, выходного около 8 мм). А т.к. отверстия расположены вплотную их там тысячи. Но это не все рельеф платы сложен и в горизонтальной плоскости с точностью до микрометра.

Очевидно, что такие навороты не дешевы. Стоимость такого электрода - многие сотни тысяч $. Да и на моей памяти я не помню детали из этих камер дешевле 50 к$.

Теперь о PVD установке. - Applied AKT-PiVot 55K DT. Система использует не плоские, вращающие катоды. Последние более эффективно распыляют материал мишени, обеспечивают большую однородность получаемой пленки. Насколько "чиста" работавшая мишень красноречиво показывает фото:

(хотя справедливости ради надо сказать, что AMAT  видимо долго искал столь грязную для плоского катода и похоже на то, что это пленка у электрической дуги, где говорить об однородности нельзя).

Не будем забывать, что производители дисплеев спят и видят добраться первыми до сундука с сокровищами в виде производства гибких дисплеев. Скорей бы уже: вот когда производители оборудования по нанесению пленок озолотятся!
Tags: вакуум, материалы, электроника
Subscribe
promo engineering_ru april 30, 2014 15:00 70
Buy for 200 tokens
Originally posted by zilm at Как будут ремонтировать автомобили с углепластиковым кузовом? Когда инженеры BMW создавали свои подзаряжаемые автомобили, они столкнулись с необходимостью снижения веса. Аккумуляторы делают электромобиль или плагин-гибрид тяжелее аналога с ДВС, а…
  • Post a new comment

    Error

    Anonymous comments are disabled in this journal

    default userpic

    Your reply will be screened

    Your IP address will be recorded 

  • 22 comments