очередное эммигрантское г.) (solar_front) wrote in engineering_ru,
очередное эммигрантское г.)
solar_front
engineering_ru

Разгадка.

Выложенная ранее картинка это многокамерная вакуумная установка для осаждения тонкопленочного кремния методом HW-CVD.
Очень многие были близки к разгадке! Хочу отметить таких читателей как:
"Это ваккумная камера" сообщили: smthng_strange, dimorlus, ll_ovod_ll
"для получения полупроводников, кремния": kobold_wizard
Пирометр распознали: humanoid_liv,cyfir
СVD распознали: korshak_v, twi1ightsparkle
Странно, что никто не подумал на простой испаритель в вакууме.

К сожалению, никто не распознал
HW-CVD, хотя в разделе CVD на вики HW-CVD присутсвует. Подсказка была: пирометр. Никто не отметил старые, добрые турбики (турбомолекулярные насосы). Они внизу, вниз люди не смотрят...

Но все равно, я думаю результат отличный.

теперь разгадка:
HWCVD

Эта "малышка" служила верой и правдой. Не имела никакого автоматического управления (всё в ручную) и лаборатория распалась в 2005 году. Надеюсь, что камеры еще работают под Манхаймом. На фото видно три камеры осаждения тонкопленочного кремния. Слева: донор-легирование, справа- не легированный слой с in-situ измерением (эллипсометр) и по центру: акцептор-легирование.
Температура 2030 С это температура отжига в камере танталовой нити, чтобы избавиться от силицидов.




CVD с горячей нитью — также известен как каталитический CVD (HW-CVD или Cat-CVD). Использует горячий носитель для ускорения реакции газов.
Проще говоря: камеру откачивают, напускают некий газ, как в лампочке раскаляют металическую нить-спираль-проволку. Молекулы газа от температуры расщепляются. Ионов нет (почти). Весь этот "супчик" взаимодействует со всем до чего "долетает".
Метод очень простой и "дешевый".

Я часто слышал от немцев, что этот метод изобрели мы, русские. Был удивлен. Но никаких следов в интернете этого не нашел! Помню лишь картинки 30 летней давности где силан разлагался при помощи раскаленной фольги:
HWcvd 79



Из патента:Wiesmann, Method of producing hydrogenated amorphous silicon film. 2.12.1980 года.

Что получают таким методом? Различные пленки. Пленки на основе кремния, MEMS, алмазоподобные, упрочняющие покрытия (по-немецки звучит классно: "диаманттехнологи").

Tags: вакуум, развлечения, технологии, электричество
Subscribe
promo engineering_ru april 14, 2014 13:47 105
Buy for 200 tokens
В 50-х годах Советский Союз вел грандиозные стройки, одной из которых был невиданный по тем временам проект — подземный тоннель на остров Сахалин, получивший рабочее название «Строительство № 506″. В конце 40-х, начале 50-х годов XX века остров Сахалин переживал бурный…
  • Post a new comment

    Error

    Anonymous comments are disabled in this journal

    default userpic

    Your reply will be screened

    Your IP address will be recorded 

  • 16 comments